白光共焦干涉显微镜是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。光源发出的光经过扩束准直后，经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。主要由以下几部分组成：
显微物镜：最前端为分光棱镜，将照明光分为两路，分别为参考臂和测量臂。当参考臂和测量臂光程近乎相等时，干涉条纹的对比度最大，通过筒镜后方的CMOS元件可以记录干涉条纹并导入软件分析，可以测量出视场区域的微观形貌，例如粗糙度测量。
场曲与畸变：显微物镜的场曲为20um左右，畸变0.0153%。
公差分析表明，该物镜的公差宽松，易于装配与加工，具有很高的量产价值。
清洁方法:
用干净的布清洁显微镜的表面，包括目镜、物镜和平台。
用清洁剂清洗显微镜的反射镜和光纤。
清洗后，用干净的布将显微镜擦干。
为防止尘埃污染，可以在显微镜上涂一层光学仪器专用的防尘脂。
